在线质谱仪是一种用于工业生产流程中的质谱仪，主要用于工艺过程的在线气体分析及其他相关的检测。通常包括进样系统、离子源、质量分析器、离子检测器、真空系统和数据处理系统。其中，进样系统、离子源、质量分析器和离子检测器是质谱仪的核心部分。
　　在线质谱仪应用于工业流程进行过程分析，一般都是定量分析，而且都是多道的。多道质谱仪加速电压固定，在离子分离器离子出射端设多个出射狭缝，每个狭缝对应一个质荷比，用于检测气体试样中一种组分的含量。它可对工业流程中的气体或蒸汽进行定性、定量实时检测。它的特点是分析速度快，精密度高，可同时进行多组分分析。
　　在线质谱仪的主要功能包括：
　　应用于残余气体分析(RGA)、催化研究(如TPR、TPD、TPO)、环境尾气分析、气体纯度分析、反应动力学等。
　　具有高灵敏度，能够检测到非常低浓度的化合物，因此在环境污染物的监测和食品、药品中残留物的检测中很重要。
　　具备高选择性，能够通过不同的离子检测方式，实现对样品中各种化合物的高选择性检测。
　　配备好的数据处理和分析软件，能够快速、准确地处理大量的数据，及时获得分析结果。
　　通常采用自动化采样和分析系统，能够实现连续、自动的样品分析，提高分析效率。