原子荧光光谱分析仪装置主要由三个部分组成，即激发光源、原子化器和检测系统,检测系统主要包括分光系统（某些情况可省去）,光电转换裝置,放大系统和输出系统。
　　原子荧光光谱分析仪组成示意图

　　1.气路系统；2.氢化物发生系统；3.原子化器；4.激发光源；5.光电倍增管；6.前置放大器
　　7.负高压；8.灯电源；9.炉温控制；10.数据处理系统；11.打印机；A.光学系统
　　一、激发光源
　　激发光源是原子荧光光谱仅的主要组成部分，以脉冲方式供电的空心阴极灯在原子 荧光光谱法中得到非常广泛的应用。
　　无电极放电灯也是原子荧光分析中的重要光源，由于没有电极，因此必须放在谐振腔 中用微波来激发，使用较为麻烦。
　　二、原子化器
　　适用于原子荧光光谱分析的原子化器具有下列特点：原子化效率高，物理或化学干扰 少，在测量波长处具有较低的背景发射，激发线的稳定性好，不含有高浓度的灭剂，在光 路中原子有较长的寿命。
　　三、火焰原子化器
　　空气一乙炔火焰是原子吸收分析中比较理想的火焰原子化器，但是由于它有强烈的 燃烧反应，因此具有很强的光谱背景，严重影响到原子荧光分析法的检出限?而氩氢火焰 具有较低的背景发射，能够得到很好的检出限，但是火焰温度太低，只能用于简单样品的 分析。因此，原子荧光的使用受到一定的限制。
　　-氢化物法原子化器
　　最近几年，氢化物发生一原子荧光法得到了较快的发展，这种方法是基于在含As、 Sh、Bi、Se、Te或S11的酸性溶液中加入硼氢化钾，使上述元素形成氢化物，当氢化物引入 氩氢火焰被原子化时，可以得到很高的灵敏度。但是能够进行氢化物发生的元素较少。
　　-检測系统
　　由于原子荧光的谱线比较简单，因此大多数原子荧光光谱仅是非色散型的，为了防止 实验室光线的影响，光电转换装置大都采用目盲型光电倍增管。