椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。
　　选型指南：
　　1、根据研究或测试的材料特性来确定光谱范围，进一步选择适合光源的椭偏仪。对于透明材料，考虑关心的折射率光谱区域；对于短波吸收、长波透明材料，如果关心吸收区域折射率及膜厚可扩展到红外透明区域来先确定薄膜厚度，然后求解折射率。
　　光源椭偏仪的理想光源是强度稳定，从紫外到近红外整个波长范围内输出近似为常数，目前大多选用氦或Hg。氦灯是比较合理的，但是它在uv(低于260nm)强度较弱，而在880~1010nm具有很强的原子辐射谱线。也有采用激光作为光源(HeNe)，进行单色椭偏测量。
　　2、入射角方式选择。多角度测量增加可靠性，但不是总有必要。多角度最适用于以下几种场合：多层膜结构、吸收膜、各项异性膜、光学常数沿厚度梯度分布的膜等
　　3、考虑测量准确性与重度性。仪器重复性定义为仪器多次测量的结果的比较，比较容易定义与比较。一般的测准确性时将空气作为标准样品（没有其他理想的标准样品）。
　　4、比较分析软件。椭偏测量是一种非直接测量模式，数据需要拟合分析得来，所以分析软件的好坏将直接影响到分析结果。