拉曼光谱仪主要适用于科研院所、高等院校物理和化学实验室、生物及医学领域等光学方面，研究物质成分的判定与确认；该仪器以其结构简单、操作简便、测量快速高效准确，以低波数测量能力著称；采用共焦光路设计以获得更高分辨率，可对样品表面进行um级的微区检测，也可用此进行显微影像测量。

　　主要从以下方面考察仪器的性能。

　　1、单晶硅的三阶峰

　　样品：单晶硅

　　激发光：514.5纳米或者532纳米

　　激光输出功率：20毫瓦

　　狭缝：50微米。

　　采集时间：300秒或60秒累加5次。

　　物镜：50倍或100倍短焦。

　　光栅：1800线

　　扫描波长：1100波数到2500波数

　　要求硅在1440波数左右的三阶峰的信噪比在10：1以上（信号是1440峰的绝对高度，噪音是测量拉曼信号时的那些乱七八糟的毛刺），越高越好

　　2、光谱分辨率

　　信号源：氖灯

　　狭缝：20微米

　　光栅：1800线

　　用+1级衍射，测量氖灯的575纳米的发射线。各个厂家的配置不尽相同，用户可根据自己的需要选择。

　　3、光谱重复性

　　样品：单晶硅

　　在可测的拉曼光谱范围内，通过转动光栅来对单晶硅的拉曼光谱全范围进行扫描，一般为100-4000波数，观察单晶硅的520波数的拉曼峰，重复测量30次以上，一般要求重复性在±0.2波数以内，越低越好。