HTIM-300型高低温材料电阻率测试仪

HTIM-3高低温材料电阻率测试仪主要用于半导体材料导电性能的评估和测试，该系统采用四线电阻法测量原理进行设计开发，可以在高温、真空气氛的条件下测量半导体材料电阻和电阻率，可以分析被测样品电阻和电阻率随温度、时间变化的曲线。目前主要针对圆片、方块、长条等测试样品进行测试，可以广泛用于半导体材料硅（si）、锗（ge）,化合物半导体材料砷化镓(GaAs)、锑化铟（InSb），三元化合物半导体GaAsAl、GaAsP，固溶体半导体，如Ge-Si、GaAs-GaP等的块体材料的电阻率测量等材料的电阻率测量。

二、主要应用领域：

半导体材料电阻测试

复合绝缘材料

陶瓷材料

云母

玻璃材料

导电功能薄膜材料

绝缘超材料

硅橡胶材料

PCB材料
三、主要技术参数：
温度范围：-160℃-600℃
升温斜率：0-10℃/min (典型值：3℃/min)
控温精度：±0.5℃
电阻测量范围：0.1mΩ~1MΩ
电阻率测量范围：100nΩ..cm~100KΩ .cm
测量环境：惰性气氛、还原气氛、真空气氛
测量方法：四线电阻法
测试通道：单通道
样品尺寸：10mmx10mmX20mm或φ＜20mm ,d＜5mm
电极材料：紫铜镀金
绝缘材料：99氧化铝陶瓷
数据存储格式：TXT文本格式
数据传输：USB
符合标准：ASTM
供电：220V±10%，50Hz
工作温度：5℃ 至 + 40 ℃；
存储温度：–40 ℃ 至 +65 ℃
工作湿度：+40 ℃ 时，相对湿度高达 95%（无冷凝）
设备尺寸：400x450x580mm
重量：38kg

案列：交付中科院上海微电子系统研究所

现场交付图

能提供从-190℃到600℃温度范围内的精准控制。

   现场实验测试变温电阻测试数据（二）

测试样品为高阻材料，实验显示随温度升高，材料电阻在高温下骤降。在本次交付中，针对客户需求，对配套软件进行了定制。

包含两种测试模式：

①RT测试：样品电阻随温度变化；

②数据时间谱测试：到达设定温度后，样品电阻随时间变化。