分子真空泵（以下简称分子泵）的抽气机理与机械泵靠泵腔容积变化进行抽气的机理不同，利用了动量传递原理，使分子定向流动而被排出泵外，从而达到抽气的目的。因其工作稳定可靠，在分子流态下具有很好的抽气效率，已经成为清洁高真空、超高真空应用领域的主流获得设备，在科学仪器、工业生产设备中得到广泛应用。

分子泵按结构和工作原理可分为涡轮分子泵、牵引分子泵和复合分子泵三种。

 分子泵结构图  

用高速运动的刚体表面携带气体分子，并使其按一定方向运动的现象称为分子牵引现象，利用这一现象制成的真空泵称为牵引分子泵。

牵引分子泵的优点是启动时间短，在分子流态下有很高的压缩比，能抽除各种气体和蒸气，特别适于抽除较重的气体。但由于牵引分子泵抽速小，密封间隙太小，工作可靠性较差，易出机械故障，而且制造困难，实际上很少应用。后来对牵引分子泵进行了改进，出现了涡轮分子泵。

涡轮分子泵内有多组相间动轮叶和定轮叶，每一个轮叶上有许多按一定角度斜置的叶片。实际的涡轮分子泵都是由多级叶列串联组成，即按动片、定片、动片等依次交替排列。动叶片转动时又类似于电风扇叶片的作用，能将气体从一侧抽到另一侧。

 分子泵分类：（a）涡轮分子泵。（b）复合分子泵 

涡轮分子泵也是一种机械式真空泵，通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静止叶片的组合进行抽气的，在分子流区域内对被抽气体产生很高的压缩比，从而获得所需要的真空性能。涡轮分子泵极限真空比扩散泵高，可达10^-8pa。正常工作时需要一定的前级真空度，其真空度高低视泵不同略有差异，一般在1-200Pa之间，可采用机械泵作为前级泵。

 立式涡轮分子泵的结构组成  

复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合，集两种泵的优点于一体，能在很宽的压力范围10^-6-1Pa内，具有较大的抽速和较高的压缩比，大大提高了泵的出口压力。

分子泵常见应用

分析(质谱分析、电子显微镜等)

半导体(电子组件、集成电路、柔性太阳能电池等)

光学/玻璃(热保护、增透、反射、光学滤光膜)

镀膜(表面保护、装饰涂料、显示器、屏幕)

真空冶金(真空炉、真空钎焊、真空烧结、真空合金)

泄漏检测(真空系统、车辆的油箱、安全气囊）

研究实验(医学核磁共振成像、核粒子物理，核聚变研究，激光应用等)

节能灯生产行业及相关

 半导体产业反应气体的工艺条件

1-离子注入；2-反应蒸发离子喷镀；3-反应溅射；4-反应离子刻蚀；5-P刻蚀；6-等离子体化学气相沉积；7-低压化学气相沉积  

分子泵拆卸与注意事项

◆ 定期对分子泵进行巡检，对泵体温度、噪声、振动等方面进行检查，及时发现设备故障，对于接近或达到保养周期的分子泵及时与厂家取得联系。

◆ 对于故障分子泵，第一时间关闭分子泵进气口处的挡板阀或者插板阀，切断分子泵与真空腔室的连接。

◆ 通过控制系统或分子泵控制器上的“停止”键，停止分子泵运转。

◆ 观察分子泵的运转频率，当显示为“0”后，关闭电源，并断开主电缆。

◆ 切断分子泵前级与预抽泵的连接，使整个分子泵与真空系统隔离。

◆ 如果有气体吹扫接口或充气口等，请在分子泵破坏真空后断开相关的连接管路；如果无上述充气口，请在保证分子泵进气口处阀门、前级接口与预抽泵隔断阀门无泄漏的前提下，缓慢打开前级接口，往分子泵内充气，使分子泵内、外压力保持一致；当系统有多台分子泵并联使用时，一定要在充气前确保充气动作对其他分子泵不造成影响，否则请在工艺过程完成、整机停机后再进行充气操作。

◆ 断开分子泵前级接口与前级泵的连接，切断冷却水路。

◆ 将分子泵与高真空阀门或真空腔室的连接件卸下，取下分子泵。

◆ 对于油润滑型分子泵，需将泵静止半小时后，拆下油池，卸下润滑油后，再进行包装发运。其他分子泵可直接进行打包发运，打包时尽量采用原包装。

分子泵故障处理

○ 分子泵使用中发现油发黑，请问油为什么发黑？或者多长时间油才会变黑？

● 原因：冷却不良，负载太大；解决方法：检查冷却系统，检查真空系统。

○ 分子泵在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常，之后又下降至一定频率，再恢复到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？

● 原因：负载太大，系统真空度不够；解决方法：检查系统。

○ 分子泵轴承为什么会烧毁？

● 原因：①缺乏定期维护②冷却不良导致过热③没有及时换油④抽除的气体中含有大量粉尘；解决方法：①及时维护②检查冷却系③及时换油④隔离粉尘。

○ 有防护网保护，为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内？

● 原因：防护网破裂，前级管道破裂；解决方法：优化系统设计。

○ 真空度很好的情况下，分子泵油为何会返到前级管道？

● 原因：油池破裂或密封不良；解决方法：检查油池。

○ 正常使用下，为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形？

● 原因：过热，负载大；解决措施：检查冷却系统。

○ 分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体，如M5的顶丝等，请问是否对分子泵的使用有影响？应如何解决？

● 原因：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。

○ 胶圈口分子泵要用多少卡钳，使用才安全？

● 不作特殊限定，至少3个，按照法兰大小可选3、6、12、24等。

○ 变频器电源在什么情况下会造成程序丢失或者错乱？

● ①电压不稳②强干扰③高压打火④人为解密。

○ 分子泵噪音大如何界定？是否有合格标准，是多少？

● 小于72db合格，噪音的大小不太好界定，需要专用仪器和特定的测试环境。

○ 分子泵是否对冷却有明确要求？如风冷需要外界温度是多少？如水冷则对水有何具体要求？如未达到要求会出现何后果？

● 注意水温和水流量，冷却不良会导致无故停机、碎泵、油变黑等。

○ 分子泵电源存在接地、屏蔽等问题，应如何做才是最佳方式？

● 电源本身有接地线，只需要保证有良好接地就可以了；屏蔽主要是指对强磁场和强辐射的屏蔽。

○ 变频器电源，转速上升过程中就自动关机，即显示“Poff”？

● 原因：电压低。

○ 分子泵叶片破碎的原因是？

● 造成分子泵转子、定子打碎的原因比较多，归纳起来主要是以下几点：

①误操作：比如突然的破真空，因为转子与定子叶片之间的空隙非常的小，如果叶片的材质比较薄或者比较软，突然的空气阻力会造成叶片变形，这样可能会造成转子定子之间的摩擦，导致打碎。

②是异物掉入：没有安装过滤网肯定不行的，另外掉进去的东西不一定要多大，但如果硬度够了一样会造成伤害，轻则造成叶片边缘被打成锯齿状，重则打碎叶片。所以现在的设备商在安装分子泵的时候会尽量改为侧面90度或倒立安装，避免异物掉入。

③电压的不稳定，特别对磁浮类的分子泵损伤较大。

④前级泵的效率差：我们知道腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出，真空达到一定程度分子泵才会启动。如果前级泵的效率差，分子泵就会比较吃力，启动速度慢，抽气时间长，电流高，分子泵温度升高等。

⑤分子泵保养时的动平衡没有做好，这是技术的关键，动平衡差，振动就大，抽气效率就差，也容易造成轴承部分的过度磨损。

⑥轴承部分没有使用原厂的标准轴承，效果和尺寸不标准等。