Sensofar共聚焦白光干涉仪 | 测量原理

发布时间:2024/5/28 16:10:00

Sensofar共聚焦白光干涉仪 | 测量原理

3D optical metrology techniques

增强型光学测量技术

虽然一开始作为高性能 3D 光学轮廓仪设计,但是我们的某些系统胜过所有现有的光学轮廓仪,集所有技术于一身。

Fringe Projection measurement of a Tablet, high vertical accuracyfringe_projection_tech


条纹投影非常适合大面积测量,垂直
精度和可重复性高,
系统噪声低。





产品阵容

技术组合

我们的系统采用不同光学测量技术进行工作,一部分系统采用组合技术。聚集这些技术的优点,外加最新技术和操作软件,成就市场上最具竞争力的高级测量设备。

S wide technologiesS neox technologiesS lynx & S mart2s-onix2

为何使用四合一技术?

4-in-1 optical metrology techniques graph



采用 Sensofar 的四合一法 – 正如 S neox 系统那样 – 在软件中单击一次就可将系统切换到适合当前任务的技术。S neox 传感器头采用 4 种测量技术 – Ai 多焦面叠加、共聚焦、干涉 & 光谱反射 – 因此,每种技术都是实现系统通用性的重要因素,有利于减少数据采集时不希望发生的缺陷,同时提供 Sensofar 的一流表面测量性能。




3D optical metrology techniques Microdisplay Image

专利技术

微显示是关键!

Sensofar 的系统采用专利微显示扫描技术。微显示以硅基铁电体液晶 (FLCoS) 技术为基础,打造没有运动零件的快速切换装置,使共聚焦图像扫描快速、可靠、精确。微显示器结合高分辨率扫描台和可更换物镜,构成了一套灵活的光学系统。