能散镀层厚度检测仪技术参数

覆层测量范围：3Li(锂)~92U(铀)

成分分析测量范围：13Al(铝)~92U(铀)

X射线管：1、带铍窗口的W靶射线管

                2、管 gao 压：5kv—50kv(可调),管电流：50μA—1000μA(可调)

准直器滤光片：五种准直器、四种滤光片 zi 动切换，除标配外可按要求定制其他规格

X射线检测：1、Fast-SDD探测器

                   2、可同时分析5层以上镀层，并测量24种元素

                   3、不同层相同元素检测(钕铁硼镀镍铜镍等)

                  4、分析镀层厚度一般在0~120μm以内(每种材质有所不同)

                  5、金属镀层分析 zui 薄可0.0025μm 

                  6、RSD≤3%

样品观察：1、gao 分辨率彩色CCD变焦摄像头

                  2、双激光 ding wei 装置，gao 度激光配合变焦摄像头对焦，放 da 倍数25~200倍

仪器外型尺寸：485(W)×588(D)×505(H)mm

样品室尺寸：430(W)×400(D)×140(H)mm

zui 大移动范围：X/Y轴：100×100mm;Z轴：0~140mm

Z轴行程：140mm

样品 zui 大重量：3kg,降低 jing 度可10kg

X/Y平台移动重复 jing 度：单向≤10μm

样品移动平台：100mmX100mm quan zi 动 gao jing 度多点测试XY移动平台

工作电源：交流220V±5V,建议配置交流净化 wen 压电源

an 全性：双重an 全 ba 护设施：防撞激光检测器与样品室门开闭传感器；待机无辐射，工作时辐射水平远低于 guo ji an 全标准，配软件连动装置