基本型号 

MT-30AM

满量程流量范围(N₂)

SCCM

0～5，10，20，30，50，100，200，500

SLM

0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30

(％F.S)

±1(≤15SLM)

±2(＞15SLM.)

控制阀动作型式

常闭式

线性(％F.S.)

±0.5～1(≤15SLM)

±2％(＞15SLM.)

重复(％F.S.)

±0.2

响应时间(sec)

≤1

流量输出信号

0-+5.00V

流量设定信号

0-+5.00V

电器接头

DB15 pin(接头)

工作环境温度

(℃)

5～45

工作压差

(MPa)

0.1～0.5

漏率

SCCSHe

1×10^-9

耐压

3MPa

介质接触材质

304，316，316L

密封材料

氟橡胶，硅橡胶，丁腈橡胶，聚四氟乙烯

接头

VCR " 1/4、1/2

Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm

接头和尺寸

Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm

1/4"VCR:127×28×100mm

电源要求

+15V,50mA;-15V,200mA

重量

0.75KG