适用范围及特点

用于测试可控硅或PN结（二极管）的长基区少子寿命。

数字显示测试结果，自动测试。

主要参数

少子寿命测量范围：0.1-99us

外形尺寸：440X×440×150mm

整机重量：10kg

特点

• 无需重新布线即可将 C-V 测量移动到任何设备终端

• 用户可配置低电流功能

• 个性化输出通道名称

• 查看实时测试状态

性能指标：

样品台：150mm×150mm

测量方式：扫描测量

X-Y轴重复定位：2μm

X-Y轴移动速度：每秒40mm

扫描点数：1024×1024

探头高度调整：自动调整

探头：配置氮气装置

探头重定位：1μm

遮光罩：测试区域配置遮光罩

可测电阻率范围：1×10⁵～10¹²Ω·cm

探针直径：1mm或2mm