加速度补偿设计

   有很多测量环境非常恶劣，但是需要静压的快速响应测量。尤其是旋转机械部件压力测量，由于涡轮机械的高旋转速度，压力传感器要承受高离心力和高振动（加速度）。

半导体压力传感器是用来测量硅膜片受应力（或压力）的变化（让传感器承受一个正常的应力或压力，通过应变惠斯登电桥测量这个变化）。然而，在离心力和振动加速度影响下，硅膜片也会发生变化。离心力和振动都能引起偏移误差和动态误差。Kulite已经设计出了加速度不敏感型半导体压力传感器用于这些场合。如下图示：

                                    加速度不敏感型压力传感器

    这种加速度不敏感型压力传感器是基于无引线基础上设计的，由两个压力敏感膜片组成，两个膜片被做在一个硅芯片上。每一个压力膜片上都用两个串联电阻组成一个半桥。两个膜片都承受惯性应力（振动和离心加速度），但是只有一个膜片受到需要测量的压力。每个膜片的半桥经电路连接形成一个全桥，对一个膜片施加一个正应力，则从一个半桥的桥路输出将减去从另一个半桥的桥路输出，这样该信号输出对应该膜片施加的压力，同时施加在两个膜片的惯性应力（或者是正常测量压力以外的应力）对这个信号影响（变化）被抵消。

    当然，只有在高冲击（振动）场合当振动引起的误差比较大时，才有必要考虑这种加速度补偿型传感器以减小测量误差。