激光束偏转及其扫描在半导体加工、军事探测、航空航天、生物医学、纳米科学研究等领域得到了越来越多的应用，同时对其性能要求也越来越高，受其体积，扫描频率，扫描，扫描分辨率等诸多因素的制约，传统的机械扫描方式越来越难以满足要求。卫星遥感技术和现代高技术战争对卫星照相机分辨率提出了越来越高的要求。卫星在轨道上的高速飞行，以及太空中某些不确定因素对卫星姿态的干扰是影响卫星拍照分辨率的重要原因。如果在卫星上装备纳米定位系统，控制光束的偏转，可以抵消卫星的飞行速度对照相机指向的影响，补偿卫星姿态扰动引起的像移误差。该方法也适用于许多民用场合，如航空摄影等。 通过压电陶瓷驱动器的快速偏转镜具有很高的谐振频率，扫描角度小、分辨率高、线性度好，一般应用于自适应光学、光束跟踪和稳定等需要快速响应和小角度偏转的领域。压电陶瓷驱动的偏转镜具有更快的加速度和更高的带宽，具有零摩擦和零粘力的铰链导向，并且导向性优良，采用闭环系统，具有很高的度。压电偏摆镜采用压电陶瓷驱动器直接驱动，多用于图象处理/稳定、激光扫描、通信、光线偏转、光束偏转/稳定等系统。纳动科技公司研发设计的旋转倾斜平台系统，以及压电驱动的纳米定位直线运动平台等，用于快速光束稳定/角度校正的压电偏摆平台，应用于光学的精密定位与指向。