应用背景

为了实现光栅莫尔条纹的计数和微位移的高测量,有一种新的莫尔条纹计数算法。当光栅移动时,通过CCD摄像器件将莫尔条纹转换为动态光电信号,即随时间变换的正弦信号。利用条纹周期性的能量分布曲线,对移动的莫尔条纹进行计数和判向,通过使用Matlab软件编辑界面,直观的显示光栅莫尔条纹移动个数及光栅微小位移。通过对莫尔条纹计数达到了对微小位移测量。

测量方案

本方案用ZNXsensor超精密电容位移传感器测量光栅的纳米级移动，从而判断25nm以下的光栅移动是否对测量产生影响。

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