可能有三方面的原因引起

1.机械部分，机器的传动或者气浮块或者读数头在运动时有声音，传动可能有障碍，皮带，气浮块，读数头可能有摩擦，这类问题可以通过给机器供气后，用手推动测量机有响声的轴来判断，找到发出声音的部位。

解决办法：确认故障点然后进一步处理。

2.电气系统，电机在参数不合适，机器状态有改变时可能会发生电震，回有很大的声音，这时候如果按下应急键，响声应该消失，在在发出声音的同时手摸电机应该能感觉到明显的震动。

解决办法：调整马达参数或者更换马达

3.气震：气震有多种，一种是电机震动引起的，如果压应急应该就没有声音了，另一种是由于气浮块的气体恰好和周围发生谐振，这时候按下应急也还是有声音，稍微改变一点进气压力，改变气体震动的频率就可以消除震动。

解决办法：调整气压或者更换气管

来源：郑州源测精密仪器有限公司