矽翔微机电系统有限公司（矽翔公司，Siargo, Ltd. ）成立于2003。公司总部位于美国加州硅谷。矽翔公司是目前世界生产具有自主知识产权、低功耗、超大量程MEMS气体流量计并使之产品化的厂商。其核心部件–MEMS流量芯片及其专利封装技术由公司自主研发，可用于各类气体及微流体的流量计量和测控，为传统的流体的计量带来了根本的变革，提供了全新的拓展空间。
　　
　　目前，矽翔公司专门为适用于中、小型企业和商业燃气计量开发的流量计已通过了国家本质安全型式认证和计量器具生产许可，并已经在四川、重庆、湖北、湖南等多地区使用。由于产品为全电子式，采用标准体积（质量）计量，具有超大量程、高精度、无可动部件、强大数据存储功能、压力损耗小、易于数据远传和网络化等特点，从根本上改变了传统机械仪表的计量方式，在小流量计量能力上大大提高，使有效实施天然气的能源管理、实时监控和资源合理调配成为了可能。矽翔公司基于MEMS 技术的流量芯片除在天然气计量中的应用外，还广泛应用于医疗麻醉与呼吸设备；工业制造业用气体测量及过程控制，环保等多个领域，目前，产品已销售到美国、欧洲、南美、亚洲等多个国家。在医院中心供氧、制氧设备，分床计费系统