压力传感器介绍
发布时间:2013/10/23 10:16:00
压力传感器介绍
1.通用的干式陶瓷压阻传感器
陶瓷传感器是一种干式传感器,零点、满量程用激光标定。干式陶瓷传感器的化学稳定性远优于的不锈钢和其它防腐材料,几乎可以测量所有介质,并且没有灌充液和隔膜系统,体积小,安装方便。量程 0~100KPa到0~60Mpa,介质温度-20~80℃,是通用性最强的压力传感器。
2. 高过载的干式陶瓷电容压力传感器
干式陶瓷电容压力传感器没有液体的传递,过程压力直接作用在陶瓷膜片的前表面,衬底的电极与膜片电极的电容量变化比例与压力大小,使膜片产生0.03mm的位移,电容的变化值经激光微调,传感器专用信号调理电路ASIC放大输出高达4000mV的直流电压,内置的温度传感器不断测量介质的温度并进行温度补偿。过载时,膜片贴到陶瓷衬底上而不会损坏。当压力恢复到正常时,其性能不受任何影响。彻底解决了低量程过载能力差的缺点。标准化的高输出具有极强的抗干扰能力,可进行大的量程迁移(10:1)。传感器具有很高的温度稳定性和时间稳定性,自带温度补偿-20~80℃,并可以和绝大多数介质直接接触。
3.高的硅压力传感器
316不锈钢膜片感知过程压力,通过硅油传输到硅膜片的一侧;同时参考压力(大气压,密封压、绝压)作用于膜片的另一侧,压力差产生一个应力场,它使硅膜片一侧压缩,另一侧拉伸。分别处于压缩区的二个应变电阻和拉伸区两个应变电阻感受压力变化引
起阻值变化。这四个电阻组成惠斯登电桥,在恒流源供电情况下,将压力信号转化为电信号。此信号经差分归一化放大器、功率放大器、电压电流转换,变成为与压力成线性对应关系的4~20mA标准输出信号,量程-7KPa~0到35Mpa,可达0.1%,介质温度-20~80℃,加散热片介质温度可达-40~250℃。
4. 耐高温的硅蓝宝石压力传感器
蓝宝石系由单晶体绝缘体元素组成,不会发生滞后、疲劳和蠕变现象,钛合金膜片可以抗强腐蚀性。蓝宝石有着非常好的弹性和绝缘特性,对温度变化不敏感,可在-100℃~600℃的高温条件下,也有着很好的工作特性。量程:0~40KPa到0~160Mpa,过载为10倍量程。另外,硅蓝宝石半导体敏感元件,无p-n漂移,超高稳定性,漂移小于0.1%F.S/年且高。
5. 高稳定的溅射薄膜压力传感器
测量膜片为不锈钢类型的弹性膜片材料(17-4PH)耐腐蚀,再注入新的离子束溅射等先进工艺手段和微机械加工方法,制成敏感压力的桥路电阻。无隔离膜片,不用灌油充液,体积小质量轻。没有PN结带来的高、低温误差大和工作温区小的问题。工作条件下为±0.25%,高稳定性,测量压力范围宽(0.7MPa~220MPa)。体积小(敏感膜片直径仅为Φ7mm),金属一体化结构,结实可靠。介质温度:-40~80℃,温度漂移小,不受原始贴片方法带来的蠕变、老化缺陷的影响,测量压力稳定性好。
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