SF6气体抽真空充气装置应用于各供电公司、送变电工程公司、发电厂、超高压输变电站、SF6电器开关制造厂等部门，为了让它更好的为这些部门服务，我们必须做好SF6气体抽真空充气装置维护保养工作。
1、本装置及周围环境应经常保持清洁、干燥。 
2、经常注意真空泵油位使油位保持油标2/3位置。一般新泵建议100 小时后换油以后可500--1000小时换油。真空泵油牌号请参阅随机附送的真空泵使用说明书。 
3、真空泵使用日久真空度渐有下降可能因为泵油混入可凝性气体和泵油裂解变质以及橡胶件老化所致。用换油或换橡胶件方法可解决。另请注意真空泵需及时换油越是及时频繁更换新油真空泵的使用寿命越长能达到的极限真空也越高。 
4.真空计为精密仪表应在干燥、清洁环境存放。其中规管传感器为易损件应尽量避免振动。 
5.如真空计测量有误可检查各密封圈及规管密封圈是否有损坏如有损坏更换之。
任何仪器都需要维护保养，SF6气体抽真空充气装置也是一样，这是保障仪器本身使用寿命及稳定性能的方法。