硅基薄膜太阳电池
硅基薄膜太阳电池
硅基薄膜太阳电池是对所有以硅为主要材料的薄膜类太阳电池的总称。
分类
材料结构上包括非晶硅、微晶硅，电池结构上包括非晶硅单结、非晶硅/非晶硅双结叠层、非晶硅/微晶硅双结叠层电池，也包括以硅为基础的各种合金材料和电池，例如非晶硅锗电池等。
非晶硅太阳电池(a-Si)
非晶硅是由化学气相沉积的方法制备的，在真空室内通入硅烷(SiH4)和氢气(H2)，通过等离子放电使气体分解，然后沉积在200度左右的玻璃或塑料、不锈钢等衬底上形成非晶硅薄膜。