平整度测试仪
平整度测试仪
平整度测试系统，采用光学方法测量晶圆、蓝宝石、Sic、Si、玻璃等材质的表面特征，在无需任何接触的情况下测量厚度、TTV、LTV、弯曲度、平整度等，可在线和离线测量。
部分技术指标
TTV
精确度：±0.1um
重复性精度：0.01um
厚度
精确度：±0.2um
重复性精度：0.1um
测试范围：50-2000um
翘曲度/弯曲度
精确度：0.5um
重复性精度：0.2um
测试范围：200um
整机参数
测量时间：<100秒
测量尺寸：8寸
尺寸：550*602*291mm
整机功率：800W
仪器特点
厚度、TTV、LTV、翘曲度、弯曲度、平坦度测量；
无接触测量；
无需校准；
高精度、高重复性；
样品台可选：4寸、6寸、8寸；
强大的分析软件，可显示3D表面形貌；
同时进行各种参数的测量，具备超高的测试速度；