微型流量计
微型流量计是一种用于精确测量微小流体流量（通常在mL/min、μL/min甚至nL/min量级）的精密仪表，广泛应用于生物医学、微流控、实验室分析、半导体制造、精细化工、环境监测等对流量控制要求极高的领域。
类型原理
1.热式（热敏/热导式）微型流量计
原理：利用流体流动带走热量的特性，通过测量加热元件与温度传感器之间的温差或功率变化来推算流量。
特点：
无活动部件，响应快；
可测气体和液体（需校准）；
适合洁净、无颗粒介质；
典型量程：0.1 mL/min~10 L/min（视型号而定）。
2.科里奥利（Coriolis）微型质量流量计
原理：基于科里奥利效应，通过测量微振动管因流体质量流动产生的相位差，直接输出质量流量。
特点：
高精度（可达±0.1%）、不受密度/粘度影响；
可同时测密度、温度；
成本高，多用于高端科研或制药；
微型化后可测低至几μL/min的液体。
3.压差式（层流元件）微型流量计
原理：在层流状态下，流量与压差成正比（泊肃叶定律），通过高灵敏度压差传感器测量。
特点：
结构简单、成本较低；
需保证层流条件（雷诺数<2000）；
常用于气体流量测量（如呼吸设备、气相色谱载气控制）。
4.超声波微型流量计
原理：利用超声波在顺流与逆流中传播时间差计算流速。
特点：
非侵入式（外夹式）或微型插入式；
无压损，适用于洁净液体；
在微型尺度下信噪比较低，技术难度高，应用相对较少。
5.容积式（齿轮/膜片）微型流量计
原理：通过精密齿轮或隔膜腔室周期性排出固定体积流体，计数脉冲得流量。
特点：
精度高，适合高粘度液体；
有机械磨损，寿命受限；
常用于油品、药液计量。
选型建议
1.介质类型：气体（空气、氮气、氧气等）还是液体（水、乙醇、油、药液）？是否腐蚀性、含颗粒
2.流量范围：最小/最大流量是多少？是否需要宽量程比？
3.精度要求：±1%FS（满量程）？还是±0.5%RD（读数）？科研级可能要求更高。
4.输出信号：模拟量（4–20 mA、0–5 V）、数字信号（RS485、Modbus、I2C、USB）或脉冲输出
5.工作压力与温度：是否耐高压（如＞10 bar）？是否用于高温或低温环境？
6.安装方式：直通式、旁路式、外夹式？管径多大（常见1/16"、1/8"、3 mm、6 mm）
7.认证要求：是否需CE、RoHS、FDA（食品/医药）、ATEX（防爆）等认证
注意事项
1.避免颗粒污染：微小通道极易堵塞，建议在前端加装0.2~5μm过滤器。
2.排气处理：液体系统启动前必须彻底排气，否则气泡会导致读数剧烈波动。
3.校准要求：不同介质需单独校准（尤其气体vs液体）；建议每年送检或使用标准流量计比对。
4.安装方向：部分热式或科氏计对安装姿态敏感，需按说明书水平或垂直安装。
5.避免水锤/压力冲击：快速启停可能损坏传感器，建议配合缓启阀使用。
应用领域
1.生物医学细胞培养灌注系统、人工肺/透析设备、药物输注泵校准、呼吸流量监测。
2.微流控芯片Lab-on-a-Chip系统中的精确试剂输送与反应控制。
3.分析仪器气相/液相色谱仪载气或流动相流量控制。
4.半导体制造高纯气体（如Ar、N?、CF?）的精确供给与泄漏检测。
5.燃料电池氢气、氧气进气流量监控。
6.环境监测大气采样、VOCs分析中的标准流量控制。
7.精细化工催化剂注入、微量添加剂计量。
8.实验室自动化自动配液系统、滴定平台、反应釜进料控制。