三维形貌仪

　　三维形貌仪的工作原理是通过测量干涉条纹的变化来间接测量表面的三维形貌。 这种仪器主要用于材料科学领域，通过光源发出的光经过扩束准直后，由分光棱镜分成两束，一束经过被测表面返回，另一束经过参考镜返回。两束光汇聚并发生干涉，通过测量干涉条纹的变化来间接测量表面的三维形貌。

　　1、双LED光源（白光和绿光），工作模式分为VSI和PSI测试模式。垂直测量范围：0.1nm至10mm，全量程闭环扫描，无需缝合拼接。垂直分辨率：小于0.1nmRa;RMS重现性：0.01nm；垂直扫描速度：优于47微米/秒；横向分辨率：最小0.08微米。

　　2、样品台倾斜角度调制范围：不小于±6°；电动闭环控制样品台，移动范围150mm（xy轴）/100mm（z轴）；视场范围：不小于8.24mm，更大面积可用缝合功能。

　　3、台阶测试精度：0.75%；反射率范围：1%至100%；CCD分辨率：1280*960像素。

　　4、电动目镜自动转换器；目镜：0.55倍，1倍；白光干涉物镜:5倍，20倍，50倍。

　　5、进口气动悬浮减震台24英寸*24英寸；8微米标准样品，带VLSI标定证书。

　　1、优点

　　高精度、广泛的应用领域、适用于各种材料表面的测量。

　　2、缺点

　　对于异形件和大型件的检测难度较高，耗时较长，对于柔性材料的测量有一定的限制。

　　以下是三维形貌仪的校准步骤，具体步骤可能因设备型号和制造商的不同而有所差异：

　　一、准备阶段

　　1.阅读手册：在开始校准之前，仔细阅读设备的用户手册，了解特定的校准流程和建议。

　　2。环境条件：确保校准环境稳定，无振动、温度和湿度适宜，避免影响校准精度。

　　二、外观检查

　　1.检查设备：检查三维形貌仪是否有任何外部损伤、污垢积累或部件松动。

　　2.检查电缆和连接器：确保所有电缆和连接器都正确连接，没有磨损或损坏。

　　三、校准标准样件

　　1.选择标准样件：使用已知参数的标准样件，这些样件通常具有特定的表面特征和已知的度量值。

　　2.清洁样件：确保标准样件表面干净，无尘埃、指纹或划痕。

　　四、设备预热

　　预热设备：根据制造商的指导，对设备进行适当的预热，以稳定电子元件和激光管。

　　五、零点校准

　　调整零点：使用零点校准板或平面镜将仪器的测量值归零，确保起始点的准确性。

　　六、基本校准

　　1.定位样件：将标准样件放置在仪器的测量区域内。

　　2.进行初步测量：对样件进行初步测量，记录结果。

　　七、参数设置

　　设置参数：根据标准样件的特性和所需的测量精度，设置适当的扫描速度、采样率和其他相关参数。

　　八、详细测量与调整

　　1.细致测量：对样件进行详细测量，包括多个区域的多次测量，以确保全面性。

　　2.调整校准：根据测量结果调整设备，直到达到最佳校准状态。

　　九、数据记录与分析

　　1.记录数据：记录所有测量数据和校准设置。

　　2.分析数据：分析测量数据，确定设备是否达到了制造商规定的准确度和重复性。

　　十、最终验证

　　1.再次测量：使用新的标准样件或原始样件的不同区域再次进行测量，验证校准的有效性。

　　2.比较结果：将新的测量结果与预期值进行比较，确认校准的成功。

　　十一、文档记录

　　1.记录校准过程：详细记录校准过程中的所有步骤、变更和结果。

　　2.保存记录：保存校准记录，以备将来参考或审计。

　　十二、定期维护

　　定期检查：定期复查校准状态，确保设备始终处于最佳性能。

　　十三、遇到问题时

　　寻求专业帮助：如果在校准过程中遇到问题，联系制造商或专业技术人员获取帮助。