氩离子抛光仪
氩离子抛光仪是用于工程与技术科学基础学科、材料科学、矿山工程技术、机械工程领域的分析仪器。
技术指标
1.减薄角度：+10o到-10o；
2离子枪束能量：0.1KeV~8 KeV；
3离子枪：双束聚焦离子枪，无耗件；
4.样品交换：样品快速更换。
工作原理
氯离子抛光仪是一种表面处理设备，其原理是利用离了束在高速运动下撞击样品表面，去除表面凹凸不平的区域，从而实现抛光处理。氩离子束由一个离子源产生，通过加速电场加速到一定能量后，进入样品表面，发生碰撞并去除表面不平整的部分。
注意事项
1.在操作氩离子抛光仪之前，务必熟悉仪器的操作手册和安全注意事项。
2.确保操作人员具备相关的培训和经验，以正确操作仪器并避免潜在的危险。
3.定期检查和维护仪器，确保其正常运行和安全性。
4.在抛光过程中，要注意保护眼睛和皮肤，避免直接暴露在离子束下。
5.对于不同类型的样品，可能需要进行适当的试验和优化，以确定最佳的抛光参数。
6.在处理易燃、易爆或有毒样品时，要采取相应的安全措施。
7.严格遵守实验室的安全规定和操作规程，确保工作环境的安全。
8.如果遇到任何异常情况或故障，应立即停止操作，并联系专业人员进行维修和处理。
使用步骤
1.样品准备
-选择合适的样品，并确保其表面干净、平整。
-根据需要，对样品进行切割、研磨或其他预处理步骤，以获得所需的形状和尺寸。
2.安装样品
-将样品固定在样品台上，确保其牢固稳定。
-使用适当的夹具或固定装置，以防止样品在抛光过程中移动或损坏。
3.选择抛光参数
-根据样品的性质和要求，选择合适的氙离子抛光参数，如离子束能量束流密度、抛光时间等.。这些参数可以通过仪器的控制面板或软件进行设置。
4.启动抛光过程
-关闭抛光室门，并确保安全联锁装置正常工作。
-启动氩离子源和真空泵，使抛光室内达到所需的真空度。
-逐渐增加离子束能量和束流密度，开始抛光过程。
5.监控抛光过程
-在抛光过程中，通过观察窗口或监控设备实时观察样品的表面形貌变化。
-根据需要，可以调整抛光参数以获得最佳的抛光效果。
6.结束抛光
-当达到所需的抛光时间或表面质量时，停止离子束发射。
-关闭氩离子源和真空泵，等待抛光室内压力恢复到大气压。
7.取出样品
-小心地打开抛光室门，取出样品。
-注意避免样品与其他物体碰撞或受到损伤。
8.样品后处理
-根据需要，对抛光后的样品进行清洗、干燥或其他后处理步骤.
-可以使用适当的溶剂或清洗方法去除表面的残留物。
功能
大面积表面抛光，多层截面样品表面抛光，复合材料以及半导体、不导电样品的SEM样品制备。