辉光放电光谱仪

　　辉光放电光谱仪的工作原理主要是通过辉光放电产牛电子，利用电场加速电子并与中性原子或分子碰撞，激发它们到较高的能级。当这些受激粒子回到基态时，它们会发出特定波长的光，通过光谱仪进行分析和测量。

　　1.分辩率高于0.024nm。

　　2.有效波长范围：119nm-800nm。

　　3.最多能实现64个元素同时测定。

　　4.分析样品厚度范围为：0.1nm-45nm。

　　1.满足各个复杂基质样品的元素总量分析。

　　2.进行表面各元素深度变化的定量薄层分析。

　　3.可完成其他发射光主谱仪从未涉及的样品类型的分析。

　　1.可以直接分析固体样品，无需将样品转化为溶液或气态。

　　2.具有较高的灵敏度和较低的检测限，可以检测到低浓度的元素。

　　3.可以同时分析多种元素，具有较高的分析速度。

　　4.适用于各种材料的分析，包括金属、合金、半导体等。

　　辉光放电光谱仪主要由以下几个部分组成：

　　1.电源和控制器

　　提供所需的电压和电流，控制辉光放电过程。

　　2.样品室

　　放置同体样品的地方。

　　3.光谱仪

　　用于分析和测量发出光的波长和强度。

　　4.数据处理系统

　　处理和分析测量数据，输出结果。

　　5.安全保护装置

　　保护仪器和操作人员安全。