阻抗分析仪
阻抗分析仪能在阻抗范围和宽频率范围进行精确测量，它利用物体具有不同的导电作用，在物体表面加一固定的低电平电流时，通过阻抗计算出物体的各种器件、设备参数和性能优劣。
应用
阻抗分析仪主要适用对象为各类超声器件阻抗特性的测量，包括：压电陶瓷、换能器、超声清洗机、超声塑焊机、水声、磁致伸缩材料、超声粉碎机、超声雾化、超声洁牙、、超声测距、超声乳化、超声除垢、超声马达等等所有使用超声的设备。
阻抗分析仪的特点是：易用、指标和图形相结合、参数准确、价格低廉、对生产的可指导性非常强等。
对压电器件的进行阻抗测量是正确使用器件的前提条件。对于压电器件，通过阻抗分析仪可以得到其主要参数，包括：谐振频率Fs、反谐振频率Fp、半功率点F1与F2、导纳Gmax、静电容C0、动态电抗R1、动态电容C1、动态电感L1、自由电容CT、自由介电常数、机械品质因素Qm、机电耦合系数Keff、Kp、K31、K33等，并可以绘制压电器件的五种特性曲线（导纳特性图、阻抗特性图、导纳极坐标图、阻抗极坐标图、对数坐标图）。
测量
（注：不同厂家相关特性数据会存在差异）
测量参数：|Z|、|Y|、θ、R、X、G、B、L、C、D、Q可提供12种参数组合
测试频率：100Hz~40MHz（电缆长度：0m)
振汇器电平：10mV~1Vrms(≤10MHz),10mV~0.5Vrms(>10MHz);(UNKNOWN端开路），3位分辨率
直流偏置：0~±40V，10mV分辨率
测量终端：4端对配置
测量范围和分辨率
测量参数 范围 分辨率
基本测量精度：0.17[%]
电平监视：1mV~1 Vrms,1μA~20mA
增益—相位测量
测量参数：Tch/Rch(dB,线性比值）；Tch,Rch(V,dBm,dBv),θ(度，弧度）；Tch=测量通道：Rch=参考通道，g=群延时
10Hz~100MHz，1mHz分辨率
孔径频率范围：（群延时测量）频率间隔的0.5[%]~100[%]
振荡器电平：-65dBm~+15dBm,0.1dB分辨率
测量范围：Tch/Rch:0~±120dB,0.001dB分辨率;Tch,Rch:-107dBm~-5dBm(0dB衰减器）,-87dBm~+15dBm,(20dB衰减器）；0.001dB，分辨率：θ：±180°（利用相位刻度扩展功能，可连续显示相位）0.01°分辨率；g：0.1ns~1s,0.1ns分辨率
基本测量精度：Tch/Rch:0.1dB,0.5°;Tch,Rch:0.35dBm
电平监视：监视参考通道和测试通道的输入电平，单位为dBm,dBV和V。
利用4194A/B的阻抗测量
下列技术指标适用于agilent4194A与agilent4194A/B联用的情况
频率范围：10kHz~100MHz,1mHz分辨率
振荡器电平：选件350：10mV~1.28Vrms;选件375：10mV~1.54Vrms
直流偏置：内部：±40V，±20mA；外部：±150V，±500mA，max.25W
测量范围：100mΩ~1MΩ
基本测量精度：±1.5[%]~3[%](≥100kHz),±3[%]~6[%](<100kHz)
电缆长度：Agilent4194A:1.5m,Agilent4194B:3m
特性
（注：不同厂家相关特性数据会存在差异）
1、基本精确度：0.05[%]
2、频率精确度：±0.005[%]
3、量测参数：Z, L, C, R, Q, D, Y, G, B, X
4、输出：10mV to 1V rms, 200uA to 20mA rms
5、显示格式：串/并联电路,或两极式
6、图形分析模式：任选两种参数依频率及直流偏压源扫描
7、电表模式：可当标准LCR电表使用
8、待测：组件连接
9、备有许多的可选附件以供不同的测试需要.
10、消耗因素:±0.0005(1+D*D2)
11、质量因素:±0.05[%](Q + 1/Q)
原理
阻抗分析仪可以测量和评定要与电路匹配.
对于压电陶瓷片,可以直接从导纳圆图和对数坐标判断器件优劣,如果陶瓷片内部出现分层,或者出现裂纹,对数曲线将出现多峰,导纳圆图上出现多个寄生小圆.
对于变幅杆的设计、加工和装配,是否合理或有缺陷,直接在导圆图上明显的可以看到.
对于超声波焊接机的生产加工,利用导纳圆的结果分析焊接机的状态,通过参数和图形的分析,找到焊接机存在的问题.
对于超声清洗机的生产和加工:振动子的选择要求其振动性能尽可能一致(带宽、品质因数、谐振频率、动态阻抗) .在导纳圆图上,尽可能没有寄生圆或在谐振点附近没有寄生圆.可以对换能器的制造、来料检验、粘结后的换能器、清洗机进行阻抗特性分析和测量.对清洗机的整机测量可以标定机器的谐振频率和静电容,以便匹配电源,可以分析其新的谐振点、注水后的阻抗、电容及整机的振动模态的特性.