扫描透射电子显微镜
扫描透射电子显微镜
扫描透射电子显微镜(scanning transmission electron microscopy，STEM)既有透射电子显微镜又有扫描电子显微镜的显微镜。STEM用电子束在样品的表面扫描，通过电子穿透样品成像。STEM技术要求较高，要非常高的真空度，并且电子学系统比TEM和SEM都要复杂。
优点
1、利用扫描透射电子显微镜可以观察较厚的试样和低衬度的试样。
2、利用扫描透射模式时物镜的强激励，可以实现微区衍射。
3、利用后接能量分析器的方法可以分别收集和处理弹性散射和非弹性散射电子。
4、进行高分辨分析、成像及生物大分子分析。